ビームトロン 製品案内 自社開発 成膜用コンポーネント
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μスパッタモジュール MC-50
ICF70マウントminiカソード。お持ちの装置に容易にボルトオン。パワー・冷却水・ガス導入までオールインワン。チャンバー内奥行き寸法任意。
カソード仕様
●取付…ICF70
●奥行…最小80mm、最大250mm
●到達圧力…1.0E-6Pa以下
●ターゲット寸法…外径1インチ
●成膜レート…18nm/min
（ターゲットCu RF30W TS間50mm）
制御電源仕様
● 周波数…13.56MHｚ ±1ｋHz
●出力電力…0〜100W
●出力安定度…±1％ 電源電圧±7％時
●出力制御…0〜5V DC、リニア制御、本機より
●出力インピーダンス…
抵抗分：1〜60Ω、リアクタンス分J40〜-J200Ω
●高調波出力…2次波、その他 -45dB以下
●必要電源…100VAC、単相50-60Hz、300VA最大
●温度…-−20〜50°C、−20°C〜30°C/連続運用
●クーリング…強制空冷
●寸法…高さ130mm×奥行303mm×幅280mm
●重量…6kg
専用100W電源。
チューニングしやすいデジタルメータ。
マッチングボックス内臓型
