ビームトロン 製品案内 自社開発 成膜用コンポーネント
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シングルエバポレーター MD-1
高安定高フラックスで、設定値に対しプラスマイナス3%以内、数十nA〜数μaオーダーのフラックスを長時間キープ。材料の長寿命化を実現。イオン除去機構付。電子ビーム溶接構造(水冷ライン部)。
MD-1型シングルエバポレーターは最大印加電圧2kVの高出力によって、φ4mmのロッドを数Å/minのハイレートで蒸着できます。そのうえフィードバック回路によって担保された優れたフラックス安定性を備えています。その精度はレートの高低に影響されません。さらに、イオンコレクタを標準装備していますので、イオンノイズに煩わされる心配もありません。また、弊社では腐食の早いロー付けを採用せず、電子ビーム溶接で本体を形成していますので、水漏れの危険性が著しく低下しています。
EB蒸着に高い制御性を要するご要望に、高い安定性と堅牢性でお応えいたします。
アプリケーション
● エピタキシャル成長
● 電極膜作製
● キャップ層作製
● 表面科学
●MD-1 取合寸法図
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●フラックス安定性
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