マニピュレーター＆基板加熱機構

基板サイズ・加熱方法・冷却方法・移動範囲・自動化・高位置精度制御など複数の要素の組合せを要求されるマニピュレーター・加熱機構こそ弊社の得意分野。10mm角から300mmウエハまで取扱い実績も豊富です。