ビームトロン 製品案内 自社開発 成膜用コンポーネント
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Kセル ＆ 電源 （プラズマ生成装置）
コンベンションなKセル以外に、有機セル、有機金属用バルブドセル、液相バルブドセルなど豊富なバリエーションと実績を誇っています。
セル仕様
● 型式…KNC-026
● ルツボ容量…5、10、26、100（c.c.）
● ルツボ材質…PBN、Ta、C、石英
● ヒーター材質…Taヒーター（無誘導巻）
● 熱反射板 Ta板…5～10層
● 熱電対…W-Re（5-26）
● 最高使用温度…MAX1250℃
● オプション…シャッター機構
…チルト機構
制御電源仕様
● 型式 DPS-300
● 出力 DC30V 10A（標準）
● 最大リップル 250mV 0.7％
● 安定度 0.4％
● 制御方式 PID制御
● 外形寸法 480×150×450mm
● 重量 20kg
