ビームトロン 製品案内 自社開発 成膜用コンポーネント
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多元エバポレータ-＆電源
±3％以内のスラックス安定性。ロッド材料を無駄なく使えるZシフト（50mmトラベル）
イオンコレクタ標準装備。ロー付けを排した安心水冷設計。
MD-3 3元エバポレータ－仕様
● 使用材料…①金属ロッド Φ1.0-1.2mm（L＝最長65mm）
②るつぼ 0.25cc
● マウントフランジ…ICF86（標準ポートアライナーによりICF70に変換）
● フォーカルポイント…イオンコレクタ先端より（全開/全閉）
● ベーキング温度手ｂ200℃
フラックス安定性
青線…フラックス値
赤線…電圧値
同時蒸着蒸着用エバポレータ-もございます。お問合せ下さい。
