ビームトロン 製品案内 自社開発 成膜用コンポーネント
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EBガン ＆ 電源
弊社製EBガンはすべてUHV対応の部品構成になっています。部品表面の粗さは殊に厳しく管理し、異常放電を容易に引き起こさないようになっています。
単発型 3ｋｗ EBガン EBG-301（写真右下）
● ビーム偏向…270℃
● ルツボ容量…約2c.c.
● ベーキング温度…250℃
● 取付フランジ…ICF70
3連型 3ｋｗ EBG-303（写真左）
● ビーム偏向…270℃
● ルツボ容量…約2c.c.×3
● ベーキング温度…250℃
● 取付フランジ…ICF70
3KW電子銃電源 EBP-300（写真右上）
● 入力…AC200V 3φ 20A
● 出力…DC-5KV 1A
● インターロック…2系統
● 安全機構…トップカバーリミットSw
● 外形寸法…480×350×500mm
● 重量…30kg
