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| 製品概要 | 1.3''MAK | 3''MAK | |
| ソース寸法 | 公称長 外径 |
4.50インチ 1.5インチ |
4.41インチ |
| 取付 | フランジ 貫通部 内部 |
114IFC 1''直径"0"リング 単一/多重 |
152IFC 1''直径"0"リング 単一/多重 |
| TARGET仕様 | TG直径 TG厚 TG取付 |
1.3インチ MAX0.225インチ 磁石 |
3.0インチ MAX0.625インチ 磁石 |
| 磁石設計 | 型 構成 |
Nd/Fe B バランス型 |
Nd/Fe B バランス型/アンバランス型 |
| 操作仕様 | DC最大出力 RF最大出力 陰極電圧 放電電流 操作圧力 磁気TG |
250W |
2000W 1500W 200-1000V 5A(MAX) 0.5-600mm 有 |
| 冷却水 | 流量率 導電率 |
1.0ガロン/分 NA |
1.5ガロン/分 NA |