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ビームトロン 製品案内 成膜用コンポーネント 海外特選品
(株)ビームトロン 〒311-4305茨城県東茨城郡城里町上青山298-1 tel029-240-6005 fax.029-240-6008
US-Inc Mighty MAK(マイティマック)A New Spattering Concept         カタログ請求はこちらから
US-Incは1977年以来の革新的製造業者及び薄膜、高真空装置の販売会社です。Lawrence Livemore National Lab から独占的特許を取得し、それらの製品はマイティマックとして全世界に知られています。
製品概要   1.3''MAK 3''MAK
ソース寸法 公称長
外径
4.50インチ
1.5インチ

4.41インチ
3.41インチ

取付 フランジ
貫通部
内部
114IFC
1''直径"0"リング
単一/多重
152IFC
1''直径"0"リング
単一/多重
TARGET仕様 TG直径
TG厚
TG取付
1.3インチ
MAX0.225インチ
磁石
3.0インチ
MAX0.625インチ
磁石
磁石設計
構成
 
Nd/Fe B
バランス型
 
Nd/Fe B
バランス型/アンバランス型
操作仕様 DC最大出力
RF最大出力
陰極電圧
放電電流
操作圧力
磁気TG

250W
150W
200-1000V
0.5A(MAX)
0.5-600mm

2000W
1500W
200-1000V
5A(MAX)
0.5-600mm
冷却水 流量率
導電率
1.0ガロン/分
NA
1.5ガロン/分
NA
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■カソード及び磁石は水と完全に隔離
■磁性材料もスパッタ可能
■ターゲットの取付が簡単:「BP着脱図」
■ターゲットは機械的クランプ不要
■0.5-600mmにおけるスパッタ:600mmTorr
■RF/DC両用(HNコネクタ)UHV対応可
■高スパッタ率における高品質な成膜
1.3Mak 2Mak 3Mak 4Mak 6Mak
データ-集/レートとユニフォーミティ
※この他にも 2”,4”,6”とサイズが豊富にそろっています。またFLEX MOUNTなど便利なオプションも選べます。