ビームトロン 製品案内 成膜用コンポーネント 海外特選品
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シグマ インスツルメンツ社は1995年に設立され、薄膜プロセスの測定器からプロセスコントローラーまで幅広い製品を製造販売しております。特に薄膜デポジションに関連した製品に特化しており、プロセス監視装置、プロセス制御装置、制御ソフトウェアに加え、センサー、フィードスルーなども販売しております。
Multi Film Rate/Thickness Monitor SQM-160
測定チャンネルを標準2ch,オプション追加で6chまで拡張可能。
膜厚とデポレートまたは周波数のいずれかを表示する低価格な装置
XTM/2と比べてみて下さい。
Thin Film Deposition Controller SQC-122c
2センサーを同時モニタする低価格デポジションコントローラー、
カラー液晶大画面、簡単セットアップ、簡単操作、自由度の高いI/0
XTC/2と比べてみて下さい
Multi -Channel Co-Deposition Controller SID-242
6マテリアルの同時デポジット
8センサと4アナログ入力を同時モニタ、無制限のプロセス数、フィルム数、レイヤー数
Windows コンパチブル、Ethernet, RS-232、ActiveX標準装備
Quartz Crystal Monitor/Controller Card SQM-242
デポジションコントロールPCIカード、
IBM PCコンパチブル、4センサ入力
Sensors and Feedthroughs Accessories
センサ、フィードスルー、アクセサリ、特注品も受けます
センサー類もお値打ちです。