BIEMTRON PRODUCTS

MDCのe-Vapシリーズは270°磁場偏向型（トランバース）E型電子銃です。e-Vapの他に類を見ない特徴は、ビームがほぼ垂直入射で原料に照射されることと、高速なビームスウィ－プ機能です。特に酸化物原料を蒸発させる場合には原料部でアーキングを起こさずに均一に原料全体を加熱できるよう、高速かつ一様なビームスウィープが必要になります。eVapのスウィープコントローラーは多様なスウィープパターン、スピードの調整が可能です。そしてスウィープの均一性を保証するのがビーム形状です。従来の偏向タイプeガンは単純な磁場デザインのためビーム形状がフィラメント近い時（ビーム収縮）と、遠い時（ビーム拡大）とでは異なる形状になる傾向にあります。この点、e-vapはビームがほぼ垂直に原料にあたるため、スウィープをかけてもほぼ全面均一に原料を加熱する事ができます。

e-Vap Frame4 for UHV
●Frame4は超高真空（UHV)中で回転するるつぼ（４つ）とその水冷という難問を鮮やかに解決した商品です。
　この水冷機構は米国の特許を獲得しています。

e-Vap Mighty Source
●e-Vapの高性能をお手軽にお試しいただけるMightySourceはICF152マウントながら
　 2ｃｃるつぼが4つ使えて、なおかつスウィープ機能を有します。
　マテリアルを選ばず多元素の材料探索をサポートします。
【製品概要】
○電力…3KWmax　○操作電圧…5KWmax　○エミッション電流…600mAmax　○到達真空度…2×10-8Torr
○冷却水…水流 2.4リットル/分以上　○ビームスポットサイズ…3-4mmｔｙｐ　
○推奨クルーシブル…無酸素銅 ○ベーキング温度…150℃最大　○重量…2.8Kg

e-vap Sweepコントローラー
●e-Vap　Sweepコントローラー（Frame1～6に対応）は、4つのプリセットスウィープパターンを持ち、
　更にこれをローテーションさせることがムラ無く原料を溶かす事をお約束します

e-Vap 3Kw 小型電子銃蒸発源＆電源
●MDC電子銃蒸着源“e-Vapシリーズ”は突出した蒸着安定性/蒸着制御性とランニング時間をもつ
　画期的な電子銃蒸発源として発売以来好評を博しています。
【電子銃本体】トランスバース型電子銃蒸発源
○最大出力…3kw（600ｍA以下）○冷却方式…水冷○ハース容量…2ｃｃ○本体寸法 W35×D50×H30ｍｍ
【制御電源】専用制御電源仕様、スイープ機能（1軸走査、ラスタースキャン方式）
○出力…-5kv 最大600mA　○リップル…1％RMS　○出力変換効率…85％ ○入力電源…AC200V単相
○冷却方式…強制空冷　○サイズ…480W×178H×410D（ラックマウント式）○重量…約15kg