BIEMTRON CUSTOMER

機種名	るつぼ数サイズ	パワー	製膜速度（参考値）	スウィープ周波数	スウィープパターン	ビームスポット	適応真空度
e-Vap3000	1個×2ｃｃ	3kW	Ni 200Å/min Power : 3kW 290mA T-S : 250mm	-	-	-	2×10-11Torr
Mighty Source	4個×2ｃｃ	3kW	AI 270Å/min Power : 2.6kW T-S : 250mm	200Hz	circular	3-4ｍｍ	2×10-8Torr
Flame1	1個×7cc, 　　15cc, 　　25cc, 　　40cc	15kW	AI 50.000Å/min Power : 14kW T-S : 250mm	200Hz	フリセットパターンカスタムパターン	7ｍｍ	2×10-11Torr
Flame2	1個×75cc、 100cc	15kW	AI 50.000Å/min Power : 15kW T-S : 250mm	200Hz		7ｍｍ	2×10-11Torr
Flame3	4個×6ｃｃ 6個×3ｃｃ	6kW	AI 8.000Å/min Power : 6kW T-S : 250mm	200Hz		7ｍｍ	2×10-8Torr
Flame4	4個×6ｃｃ	6kW	AI 8.000Å/min Power : 6kW T-S : 250mm	200Hz		7ｍｍ	2×10-11Torr
Flame5	4個×15cc、　　25cc、　　30cc, 6個×12ｃｃ	10kW	AI 30.000Å/min Power : 10kW T-S : 250mm	200Hz		7ｍｍ	2×10-8Torr 2×10-11Torr
Flame6	4個×40cc、　　60cc、　 75cc, 6個×40ｃｃ	15kW	AI 50.000Å/min Power : 15kW T-S : 250mm	200Hz		7ｍｍ	2×10-8Torr