ビームトロン 製品案内 荷電粒子ビームコンポーネント
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Lo-Mill10 TEM サンプル断面スムーサー
TEMホルダーに乗せたままドライブスルー処理。低速（サブKev）なのに高デンシティーイオンビームで処理時間短縮。国内有力各社のTEMホルダーをそのまま使用可能。
低速イオン銃の技術を用い、300eVとごく低いエネルギーで試料断面をエッチングできます。FIB/TEM共用試料ホルダーをそのまま処理室に入れて高速にミリングできるので、TEMの傍らにおいて最適な処理面が得られるまで繰返し処理できます
Lo-Mill10 TEM サンプル断面スムーサー
加速…100eV～500eV
ビーム径…Φ1.1mm～Φ1.4mm
試料電流…0.22μA～3.20μA
