ビームトロン 製品案内 荷電粒子ビームコンポーネント
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低速パルス電子銃 LEP-5
LEP-5は、特に低加速域の電子ビームを効率よく取り出すために、銃内部で加速と減速を行いビームのエネルギーを制御します。従って10eV程度でも数10μA/cm2の電流密度が得られます。更にブランキング電極を設け、
外部入力によってパルスビームを発生させられますので、分析用途に活躍しやすくなっています。
LEP-5仕様
速電圧…10ev～1kV
試料電流…0.2μA～10μA
ビーム径…φ1.5mm～φ0.5mm（アパーチャ径による）
ブランキング 入力…TTL 5V
ビーム偏向…静電4極
動作真空度…5.0E-3Pa以下
設置寸法（mm）…お問合せ下さい
重量 電源手ＭJISラック H＝149mm D＝500mm
電子銃…2.5ｋｇ
電源…6ｋｇ
所要電力…AC100V 5A
オプション…（ﾌｧﾗﾃﾞｰｶｯﾌﾟ） ボア径 φ5.0mm 移動機構・電流計含まず
高収束低加速
ブランキングによるパルスド電子ビーム
ICF70取付
高O2耐性
