ビームトロン 製品案内 荷電粒子ビームコンポーネント
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差動排気型 低速イオン銃 LEI-2000V
内部に減速機構を有するLEI-2000Vは極低速域のコントロール性能を極限まで高めたイオン銃です。スパッタ限界以下とされる50eV前後でも、なお数100nAのイオン電流を得ることが出来ます。表面状態に非常に敏感な光電子分光や深さ方向分析に大変良く適合いたします。
LEI-2000V仕様
■加速電圧…100eV-3keV
■超低速高強度イオンビーム…100eV 15μA/cm2以上
■低速域オートフォーカス機能
■中性粒子除去
■差動排気UHV対応
■ICF70マウント
主な用途
■表面物性研究
■ソフトエッチング
■帯電中和
ビームトロン製低速イオン銃LEIシリーズの特性
1kV未満の加速エネルギー域で多くのイオン電流が得られるよう設計せれています。
エントリーモデルであるLEI-1000型、表面分析のマーケットに特化させたハイエンドモデルであるLEI-2000Vの他
にもお客様のカスタマイズで要求に応じて開発をサポートいたします。
