ビームトロン 製品案内 荷電粒子ビームコンポーネント
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差動排気型 低速イオン銃 LEI-1000
LEI-1000は差動型排気の必要のないエントリーモデルとして開発されました。イオン化方式は2000Vと全く同じで、ガスイオン銃ながら光源が小さく色収差の少ないビームが特徴です。このことは同時にフィラメントの長寿命化ももたらしました。低メンテナンス性と合わせて、コストパフォーマンスの良い高品質の1台です。
LEI-1000イオン銃仕様
・イオン化方式…熱電市衝撃型（永久磁石内蔵）
・熱電子源…トリアタングステン（φ0.125mm）
・エネルギー…＋0.3kV〜＋3.0kV
・CL1レンズ…静電型
・CL2レンズ…静電型
・偏向電極…X-Y 低電圧静電偏向
（ビームスキャンオフセット）
・イオン化室ポート…φICF34×4
LEI-1000イオン銃電源
・加速電圧…0～+3kV (0.5mA)
・フィラメント電流… 0～2.5A (0.5mA)
〔オートエミッション〕0～3V
・グリッド電圧… 0～+250V (60mA)
・リペラー電圧… 0～-35V (200μA)
・引出電圧…0～-3kV (0.5mA)
・CL1電圧…0～-3kV (0.5mA)
・CL2電圧… 0～-3kV (0.5mA)
・偏向電極電圧… X-Y ±200V
SCAN X:5kHz，Y:250kHz
周波数INT-EXT切替(外部入力端子付)
SPOT X-Y Offset Rotation機能付
充実のオプション拡張
外部入力スキャンのオプションを備えればラスタスキャンも可能。さらに吸収電流像表示システムを組み合わせれば、任意のサンプル表面を洗濯してエッチングするシステムにビルドアップもできます。
フィラメントは標準のトリアタングステンの他に酸素ビーム用にレニウムフィラメントを選ぶこともできます。
極低ダメージなのに高速エッチング
300eVから500eVといった低加速域において30〜70μA/cm2の高デンシティーガスイオンビームが得られます。サンプルにダメージを与えずに、極力短い処理時間で表面をエッチングできます。
