LS-100は製膜室、排気系、ガス導入系、各種電源を一つにまとめた大変コンパクトなスパッタ装置です。わずか幅800mm×奥行1200mm×高さ1600mmの空間さえあれば十分に運用いただけます。対話式の排気操作盤によって排気操作は起動・停止とも自動化され、初心者の使用においても装置の故障を招きにくくなっています。また、オプションを追加することで高均一成膜や多元同時成膜など本格的な薄膜作製装置としてもお使いいただけます。
研究室に一台、省スペースで多機能なユーティリティーマシンとしてご活用下さい。

標準構成及び仕様
●覗き窓：有効径　φ60以上（シャッター付き）　　●排気系：50L/S　TMP　90L/min　RP
●排気制御盤：排気ポンプ・バルブ類集中制御/インターロック停電復帰防止用リレー回路付き
●圧力調整弁：ICF70手動バタフライバルブ　　●ガス導入系：A：:50sccm　MFC　O2：5sccm　MFC MFC前後に圧空駆動バルブ付き
●真空計： 水晶真空センサー&冷陰極管真空計　測定範囲：　大気圧～1.0E-7Pa　　●スパッタカソード：φ2"　標準1台装備
●RF電源： 13.56MHz　最大300W　オプションで3ch出力切換可、オートマッチング付き
●ターゲット寸法：非磁性材料　φ50.8ｍｍ×3ｔ　磁性材料 　　φ50.8mm×1.5t　　●プロセス圧力：　0.5Pa～1.0Pa（Arガス）

■所要スペース…幅800mm×奥行1200mm×高さ1600mm　■重量…約120kg　■使用環境…温度：3～45℃　相対湿度：20～80%RH
■所要電力…AC100V 30A　■所用空気圧…4kgf/cm2以上　■所要冷却水…　RT 2L/min (圧力2kgf/cm2以上)