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KISシリーズ仕様
■ワイドハッチ付蒸着チャンバー　KIS3-001
　○寸法…Φ318×300　○材質…SUS304　○ハッチ…Φ400JIS（ICF70　防着ガラス付覗き窓）○到達真空度…1.0E-5Pa
　○サービスポート…ICF70×3（追加可能）

● 排気システム 200L/s　TMP
　○160L/min　RP　○NW25　配管部品
● 基板ホルダー取付可能最大基板：　Φ100mm
　○基板回転タイプ：回転方向…CW,　CCW　・回転速度…15ｒｐｍ（max)　○基板チルトタイプ：チルト角度…±15°
● 蒸発源：最大投入電流…150A、バスケット容量…0.2cc、シャッター…手動
　蒸着源は2元タイプ（KIS3-512S）、3元タイプ（KIS3-513S）のどちらかを選定下さい
● 蒸着源加熱電源　　KIS3-503　入力…AC100V、60A最大出力…10V　150A、3ｃｈ切替式
● 膜圧計（SQM-160）　KIS3-005 レート分解能…0.055Å/ｓ、膜厚表示単位…1Å、センサー数…1個（2個まで装着可能）
● 全圧真空計（ATC35CKD)　KIS3-006 測定範囲…大気圧から1.0E-8Pa、フィラメント切替式
● 架台及びユーティリティパッケージ　KIS3-007 架台寸法…下記設置寸法図参照、水盤3系統（フローｓｗオプション）