◇製品案内◇
更新日
2007年5月25日
ビームトロンは自社開発品あるいは厳選した海外コンポーネントを効果的に用い
性能とコストのバランス
の取れた
真空装置・コンポーネント
を提供いたします。
自社開発品はもちろん、海外製品もお客様に
安心してお使い
いただけるよう製造元で使いこなしとメンテナンスのトレーニングを行なっています。
同時に部品のいくつかを弊社内に在庫しておくことで
修理期間を短縮
させています。
簡単な修理で半年も待たされるというような事は弊社の特選品目では殆どありません。
○
ビームトロン社が自信を持ってお勧めするコンポーネント類をご覧下さい。
◆◆◆ コンポーネントの開発・設計・販売 ◆◆◆
(自社開発)
成膜用コンポーネント
(海外特選品)
成膜用コンポーネント
(自社開発)
荷電粒子ビームコンポーネント
お客様の声と自分たちの技術に基づき、
より高性能な成膜装置の開発を手がけます。
過去の納入実績から、信頼できる海外各社の製品を取扱っています。
低加速性や高密度の追求。
充実のラインナップ
。
↑多元エバポレータ-&電源
↑MDC製品
↑LEI-2000V
Kセル&電源
プラズマ生成装置
EBガン&電源
多元エバポレータ-&電源
基盤
加熱機構
μスパッタモジュール
MDC
Mantis Deposition
US-inc
Sigma Instruments
LEI-2000V
LEI‐1000
Lo-Mill10
低速パルス電子銃
高輝度RHEED
高輝度電子銃
◆◆◆ 汎用装置・特注装置 ◆◆◆
汎用実験装置
特注装置実績例
各種プロセス毎に必要な機能を小さく廉価にまとめました。カスタムエンジニアリングのベースにも最適です。
これまでに請け負った特注装置の実績例です。
↑3元RFスパッタリング装置
↑レーザーアプリケーション装置
3元RFスパッタリング装置
3元抵抗加熱蒸着装置
レーザーアブレーション装置
イオンビーム反応蒸着装置
UHVマグネトロンスパッタ装置
プラズマ生成装置
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