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各種研究開発に伴う実験装置及びコンポーネントの設計・製造・販売
ビームトロンには自社開発製品、あるいは厳選した海外製品の各種コンポーネントのラインアップがあります。
また、それらを効果的に用いて性能とコストのバランスが取れた真空装置を提供いたします。
毎年、複数の自社開発製品が生まれており、いずれもユーザーの皆様からご好評いただいております。
海外製品につきましても、在庫整備や海外でのトレーニング受講などにより、
修理やメンテナンスに要する期間を短縮化できるよう努力しています。
(株)ビームトロン 〒311-4305茨城県東茨城郡城里町上青山298-1 tel029-240-6005 fax.029-240-6008
Copyright(C)2009 BIEMTRON Co., ltd.
コンポーネントの開発・設計・販売
成膜用コンポーネント(自社開発)
お客様の声と自分たちの技術に基づき、より高性能な成膜装置の開発を行います。
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Kセル&電源 プラズマ生成装置
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EBガン&電源
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多元エバポレータ-&電源
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基盤加熱機構
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μスパッタモジュール
成膜用コンポーネント(海外特選品)
過去の納入実績から、信頼できる海外各社の製品を取扱っています。
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MDC
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US-inc
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Sigma Instruments
荷電粒子ビームコンポーネント(自社開発)
低加速性や高密度の追求。充実のラインアップ。
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LEI-2000V
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LEI‐1000
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Lo-Mill10
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低速パルス電子銃
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高輝度RHEED
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高輝度電子銃
汎用装置・特注装置実績
汎用実験装置
各種プロセス毎に必要な機能を小さく廉価にまとめました。カスタムエンジニアリングのベースにも最適です。
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3元RFスパッタリング装置
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3元抵抗加熱蒸着装置源
特注装置実績例
これまでに請け負った特注装置の実績例です。
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レーザーアブレーション装置
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UHVマグネトロンスパッタ装置
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プラズマ生成装置
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イオンビーム反応蒸着装置